中科瑞晶(杭州)科技有限公司

合金靶材

靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等,亦可应用于玻璃镀膜、 耐磨材料、高温耐蚀和高档装饰用品等。


靶材包含金属类、合金类、陶瓷类、单晶类等, 中科瑞晶(杭州)科技有限公司提供常见的合金靶材,包含且不限于以下列表。


材料纯度最大尺寸

制备方法

Al-Cu4N~5N1000×300mm熔体法
Al-Ti4N1000×300mm熔体法
Al-Mg4N1000×300mm熔体法
Ag-Cu4N1000×300mm熔体法
Co-Cr3N400×300mm熔体法
Co-Ni3N400×300mm熔体法
Co-Fe3N400×300mm熔体法
Co-Fe-B3N400×300mm特殊烧结
Co-Fe-Cu3N400×300mm熔体法
Cr-Si3N400×300mm特殊烧结
Cu-Mn3N~3N5Dia4″特殊烧结
Cu-Mn3N~3N5400×300mm熔体法
Cu-Al3N~4N400×300mm熔体法
Fe-Mn2N5400×300mm熔体法
Fe-Ni2N5~3N5400×300mm熔体法
FeCoBSi2N5Dia4″特殊烧结