MgO
氧化镁(MgO)单晶衬底广泛应用于许多薄膜技术领域。如磁性薄膜、半导体薄膜、光学薄膜和高温超导薄膜的生产。由于MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗非常小,并且可以获得大面积的衬底(直径为2英寸或更大),因此它是当前工业化的重要高温超导薄膜单晶衬底。一可用于制作高温超导微波滤波器等移动通信设备所需的器件,具有较大的现实和潜在的应用市场。
同规格氧化镁(MgO)晶体衬底基片。
使用/应用
氧化镁用于许多薄膜技术领域:
▪ 磁性薄膜
▪ 半导体薄膜
▪ 光学薄膜
▪ 高温超导薄膜
特点/优势
MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗非常小,可以获得大面积的衬底(直径为2英寸或更大)。
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生长方法
电弧法
晶体结构
立方
晶格常数
a=4.130 Å
熔点
2800(℃)
纯度
99.95%
密度
3.58(g/cm3)
硬度
5.5(mohs)
热膨胀系数
11.2x10-6(/℃)
晶体解理面
<100>
光学透过
>90%(200~1000nm)
介电常数
ε= 9.65
热导率
36 W/m.k @ 300°K
尺寸
5x5,10x10,20x20,30x30mm ,Ø50.8 mm
厚度
0.5mm,1.0mm
抛光
单面或双面
晶向
<001>,<110>,<111>
晶面定向精度:
±0.5°
边缘定向精度:
2°(特殊要求可达1°以内)
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
包装
100级洁净袋,1000级超净室
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尺寸
5x5mm,10x10mm,20x20mm,30x30mm , Ø50.8 mm
厚度
0.5mm,1.0mm